Apr 19, 2023 Tinggalkan pesanan

Lapan Langkah Proses Penyediaan Sasaran Sputtering

Kita semua sedar tentang hubungan erat antara trend pembangunan teknologi bahan sasaran dan trend pembangunan penyediaan sasaran. Teknologi sasaran harus menyesuaikan diri selaras dengan cara industri aplikasi memajukan teknologi barangan atau komponen filem nipis. Mari ikuti editor untuk mengetahui cara sasaran disediakan.

1. Untuk mencipta serbuk komposit mekanikal, campurkan serbuk monomer indium oksida dengan serbuk oksida timah monomer pada nisbah jisim 9:1, atau mula-mula buat serbuk komposit kimia indium timah oksida menggunakan prosedur kimia. Serbuknya adalah 99% tulen, sfera atau separa. -sfera, dengan saiz zarah purata 30-200 nm dan tiada bukti penggumpalan keras.

2. Menyahoksidakan serbuk komposit pada 350 darjah dalam persekitaran oksigen.

3. Isikan sampul surat dengan serbuk komposit untuk penekanan isostatik sejuk. Minyak digunakan sebagai medium penekan isostatik sejuk, dan julat tekanan 200 hingga 280 MPa digunakan. Ketumpatan kasar yang diperoleh adalah antara 45% hingga 55% daripada ketumpatan teori.

4. Letakkan bilet kasar di dalam bekas yang bersaiz sesuai. Untuk menghalangnya daripada bertindak balas pada suhu dan tekanan tinggi, filem tantalum logam, filem nikel, filem niobium atau filem platinum diletakkan di antara bekas dan badan kasar.

5. Vakum bekas dan bungkusnya dengan kosong kasar.

6. Masukkan bekas yang disebutkan di atas ke dalam relau penekan isostatik panas. Dengan tempoh penahanan selama 0.5–6 jam dan tekanan atmosfera argon 100–120 MPa, penekanan isostatik panas berlaku pada suhu antara 100 dan 300 ijazah .

7. Keluarkan bekas keluli karbon selepas menekan isostatik panas dengan memerah dalam asid nitrik cair, tanggalkan penghalang kerajang logam, dan kumpulkan bahan yang dikehendaki.

8. Untuk memotong bahan sasaran mengikut saiz yang dikehendaki, gunakan kaedah pemotongan wayar.

Hantar pertanyaan

Rumah

Telefon

E-mel

Siasatan