Saya percaya bahawa setiap orang mempunyai pengetahuan tentang objektif salutan. Dia melalui sistem salutan. Sasaran salutan bersalut keras kini menjadi sesuatu yang kami fahami. Fasa terakhir diringkaskan untuk semua orang oleh editor.
Reka bentuk gubahan sasaran, transformasi struktur kristal sasaran, penyediaan sasaran, penambahbaikan proses dan pengoptimuman gelagat sputtering sasaran ialah empat bidang minat utama semasa untuk penyelidikan mengenai sasaran salutan untuk salutan keras. Hari ini, kami akan menumpukan pada pengoptimuman tingkah laku sputtering sasaran, peringkat akhir proses salutan salutan keras.
Pekerjaan sasaran dalam proses salutan harus menjadi tumpuan tunggal penyelidikan sasaran. Sasaran terletak di dalam ruang vakum sepanjang proses penyediaan salutan dengan keadaan plasma yang sangat kompleks, menyebabkan logam sasaran terhakis. Plasma mempunyai kesan ke atas trajektori atom. Untuk mengekalkan sasaran dalam keadaan stabil dan baik semasa pembinaan, adalah penting untuk mengoptimumkan proses salutan. kadar hakisan sasaran dan kehilangan atom terpercik semasa perjalanan atom terpercik kepada substrat semasa proses salutan sputtering magnetron sasaran aloi.
Ketumpatan arus ion dan sasaran letupan mempunyai kesan yang paling besar pada hasil sputtering sasaran. Kehilangan sudut dan kehilangan taburan adalah dua jenis utama tenaga ion, kehilangan atom yang terpercik. Ketumpatan dan tenaga zarah yang menyerang sasaran boleh diubah dengan mengubah arus sasaran. Keracunan sasaran boleh dibuat lebih berkesan dengan melaraskan tekanan separa nitrogen. Kadar di mana atom logam bergerak ke substrat boleh dikawal dengan cekap dengan melaraskan pincang substrat. Untuk menyediakan salutan yang berkualiti tinggi, bahan sasaran boleh dibuat agar lebih sepadan dengan persekitaran ruang vakum salutan dengan mengawal selia parameter proses.
Kami mungkin mendapat manfaat daripada fakta bahawa pertumbuhan pesat industri elektronik telah mencetuskan kemajuan yang ketara dalam beberapa perniagaan bersebelahan. Kemajuan sains dan teknologi dipacu oleh zaman. Objektif salutan bersalut keras adalah salah satu pemenang utama, bersama kami.
