Hari ini, kita akan membincangkan keadaan ruang, faktor terakhir yang mempengaruhi penciptaan salutan kawasan besar. Bahan sasaran itu sendiri mempunyai masalah dengan kualiti, bentuk, orientasi kristal dan faktor lain. Perbezaan utama antara faktor semasa dan yang dinyatakan sebelum ini ialah faktor semasa semata-mata membimbangkan keadaan luaran dan bukannya bahan sasaran itu sendiri.
Editor selepas itu akan membenarkan anda memahami sepenuhnya bagaimana keadaan ruang akan memberi kesan kepada pembentukan filem sasaran.
Sama ada rongga itu bersih atau tidak bersih, atau jika proses pengeluaran mengambil masa terlalu lama, lebih banyak bahan cemar akan terserap ke permukaan rongga. Bahan cemar ini akan nyata semasa proses pembuatan dan akan melekat pada permukaan sasaran. Caj mungkin terkumpul di kawasan cembung semasa proses sputtering, yang akan meningkatkan saiz nodul dan mengakibatkan pelepasan ketara yang juga akan mempunyai kesan kepada kualiti filem.
Selain itu, sputtering tidak konduktif yang dihasilkan oleh tindak balas boleh melekat pada permukaan bahan sasaran dan membentuk nodul jika terdapat sedikit kebocoran udara di dalam ruang, yang akan mengurangkan kecekapan dan keseragaman penciptaan filem. Akibatnya, penggunaan sasaran sangat dipengaruhi oleh keadaan ruang.
Pada mulanya, pembentukan adalah mudah untuk dikeluarkan dengan membakar sasaran dengan argon tulen, tetapi jika ia tidak ditangani, pembentukan akhirnya akan meningkat dan menyebabkan lengkok yang ketara, yang mempunyai kesan ke atas pengeluaran. Sasaran harus dibakar dengan kuat semasa sebelum setiap pengeluaran untuk mengeluarkan sebarang bahan cemar dari permukaannya. Untuk mengekalkan persekitaran yang bersih untuk salutan, ruang vakum digilap, divakum dan disapu secara rutin. Jaring beg juga disembur pasir untuk mengeluarkan sebarang bahan tindak balas logam yang melekat padanya.
Penggunaan bahan sasaran akan dipengaruhi oleh persekitaran ruang salutan, yang juga akan memberi kesan kepada kualiti filem. Kebanyakan tumpuan orang semasa proses salutan akan tertumpu pada sasaran itu sendiri, mengabaikan keadaan ruang, oleh itu kadang-kadang sebahagian besar daripada salutan yang tidak memuaskan adalah disebabkan oleh perkara ini.Kawan-kawan harus sedar keadaan bilik selepas membaca esei ini, saya harap!
