Memastikan sambungan terma yang kuat dibuat antara sasaran dan dinding penyejuk pistol sputtering ialah langkah keselamatan yang paling penting untuk diambil semasa memasang sasaran sputtering. Sasaran boleh pecah atau bengkok semasa pemasangan jika tongkat penyejuk atau satah belakang meleding teruk. Ini juga akan memberi kesan yang ketara pada kekonduksian terma dari sasaran belakang ke sasaran, yang mungkin menyebabkan kegagalan haba semasa proses sputtering. Sasaran akhirnya akan retak atau tersasar akibat pelepasan.
Lapisan kertas grafit boleh diletakkan di antara dinding penyejuk katod dan sasaran untuk memastikan kekonduksian terma yang mencukupi. Harap maklum bahawa anda mesti memeriksa dan mengesahkan dengan teliti kerataan dinding penyejuk untuk pistol sputtering dan pastikan O- cincin sentiasa berada di tempatnya.
Semasa memasang bahan sasaran, adalah penting untuk memeriksa dan membersihkan tangki air penyejuk katod untuk memastikan kebersihan air penyejuk yang digunakan dan kebersihan kotoran yang mungkin terhasil semasa operasi peralatan akan disimpan di dalam katod. tangki air penyejuk. Ini akan membantu memastikan peredaran air penyejuk dan saluran masuk dan keluar air lancar. tidak terhalang.
Semasa memasang bahan sasaran, adalah penting untuk memastikan tiada sentuhan antara katod dan anod dan tiada konduktor kerana sesetengah katod dibina dengan jurang kecil dengan anod; jika tidak, litar pintas akan berlaku.
Untuk arahan yang diperlukan tentang cara memasang sasaran dengan betul, sila rujuk buku panduan operasi yang disediakan oleh pengilang peralatan.Sila ketatkan satu bolt dengan tangan, kemudian bolt kedua pada garisan pepenjuru dengan tangan, ulangi kaedah ini sehingga semua bolt dimasukkan, dan kemudian ketatkan dengan alatan untuk mengamankan lekapan sasaran.
