Sasaran sputtering digunakan secara meluas dalam banyak industri berkat kemajuan sains dan teknologi. Hari ini, saya kebanyakannya akan memperkenalkan proses pengeluaran sasaran molibdenum dan sasaran aluminium.
Menggunakan metalurgi serbuk, kosong sasaran dicipta untuk bahan sasaran molibdenum. Sasaran kosong diproses secara mekanikal dan dikimpal dengan satah belakang tembaga bebas oksigen (OFC) dalam persekitaran yang bersih untuk membentuk sasaran asas. Sasaran asas adalah tidak merosakkan oleh pemeriksaan pengesanan kecacatan ultrasonik, kadar ikatan kimpalan mencapai 98% atau lebih, dan kemudian pemprosesan mekanikal halus dijalankan untuk memastikan ketepatan bahan sasaran dan memenuhi penyinaran
Proses untuk menghasilkan bahan sasaran aluminium: Bahan mentah mula-mula dicincang menjadi kepingan di kilang, ditambah baik melalui pemprosesan plastik dan rawatan haba untuk menghasilkan kosong sasaran, yang kemudiannya diproses dan dibersihkan secara mekanikal menggunakan satah belakang kuprum bebas oksigen (OFC).
Untuk memastikan ketepatan bahan sasaran dan pematuhan dengan medan elektrik sasaran, medan magnet, saluran air penyejuk, dsb., pemprosesan mekanikal halus dijalankan selepas bahan sasaran asas dikimpal dalam persekitaran. Bahan sasaran asas diuji dengan pemeriksaan tidak merosakkan ultrasonik, dan kadar gabungan kimpalan melebihi 98%. Keperluan pemasangan; selepas membersihkan dan membungkus di dalam bilik bersih, sasaran siap diletakkan di dalam beg plastik khusus untuk melindungi daripada pengoksidaan, pencemaran, dan kelembapan. Ini membuang sebarang bahan bukan organik atau organik yang mungkin melekat pada permukaan.
