Struktur dalaman sasaran tungsten yang dicipta oleh teknik metalurgi serbuk semasa tidak memenuhi keperluan proses sputtering yang semakin meningkat untuk kehomogenan dan saiz butiran. Bahagian seterusnya menerangkan teknik baru untuk menghasilkan sasaran tungsten.
1. Berikan serbuk tungsten dengan luas permukaan tertentu lebih besar daripada atau sama dengan 1.1 mVg;
2. Kedap vakum serbuk tungsten di dalam sarung getah setebal 3 hingga 5 milimeter atau sarung aluminium setebal 2.5 hingga 3.0 milimeter;
3. Sarung getah atau sarung aluminium diletakkan di dalam relau penekan isostatik sejuk, di mana serbuk tungsten mula-mula ditumpatan oleh prosedur penekan isostatik sejuk untuk mencipta sarung getah atau sarung aluminium padat pertama. Untuk sasaran tungsten kosong, suhu menekan isostatik sejuk adalah pada suhu bilik, tekanan menekan isostatik sejuk adalah lebih daripada atau sama dengan 150 MPa, dan tekanan menekan isostatik sejuk dikekalkan selama satu hingga sepuluh jam;
4. Sarung getah atau aluminium dikeluarkan selepas rawatan ketumpatan pertama, dan kosong sasaran tungsten pertama kemudian dimasukkan melalui rawatan ketumpatan kedua menggunakan teknik pensinteran aruhan untuk mencipta kosong sasaran tungsten kedua. Aruhan pensinteran Prosedur dijalankan dalam relau pensinteran aruhan, yang dipanaskan pada kadar 3 darjah /min hingga 10 darjah /min semasa dialihkan ke vakum kurang daripada atau sama dengan 10-1Pa;
5. Dan tahan di sana selama 15 hingga 20 jam semasa pensinteran aruhan;
6. Untuk mencipta sasaran tungsten, sasaran tungsten kedua kosong dimasukkan melalui rawatan ketumpatan ketiga dengan menekan isostatik panas selepas rawatan ketumpatan kedua.
Relau penekan isostatik panas digunakan untuk melakukan proses penekanan isostatik panas yang dinyatakan di atas. Relau penekan isostatik panas dirawat vakum sehingga darjah vakum kurang daripada atau sama dengan 100 Pa, dan kemudian ia ditetapkan kepada suhu tertentu. Kadar pemanasan tekanan isostatik panas relau penekan isostatik panas dikawal kepada 3 darjah/min hingga 10 darjah/min, dan suhu penekanan isostatik panas berjulat dari 1700 darjah hingga 1900 darjah. Suhu dan tekanan tekanan isostatik panas dikekalkan selama 2 hingga 5 jam, dan tekanan tekanan isostatik panas adalah lebih daripada atau bersamaan dengan 180MPa.
